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      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

      簡要描述:● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

      產品型號: NRL60A/90A/180A

      所屬分類:真空泵

      更新時間:2024-08-23

      詳細說明:

      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特長

      ● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

      ● 低噪音、低振動

      ● 優良的耐腐蝕性

      標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

      ● 選購件

      可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

       

      日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途

      ◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)

      ◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)

      ◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)

      ◆ 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)

      ◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣



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